特許

J-GLOBAL ID：200903042627009933

バリア金属用研磨液及び研磨方法

発明者： 吉田 節夫
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362376
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193488
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】高耐食性を示すバリア金属層の加工性を発現し、Cu層の加工速度はTa層より小さく制御でき、更にはCu層研磨面の平滑性が極めて緻密となるバリア金属用研磨液及び研磨方法を提供する。【解決手段】硝酸及び/又はその塩、過酸化水素、酒石酸及び/又はその塩、水並びに研磨砥粒からなるスラリーであって、該スラリーのpHが3〜9であるバリア金属用研磨液であり、硝酸及び/又はその塩の濃度が0.05重量%以上、過酸化水素濃度が0.05重量%以上、酒石酸及びその塩の濃度が0.001重量%以上及び研磨砥粒濃度が0.1重量%以上であることが好ましい。【選択図】選択図なし

請求項（抜粋）：

硝酸及び/又はその塩、過酸化水素、酒石酸及び/又はその塩、水並びに研磨砥粒を含有し、保護膜形成剤を含有しないスラリーであって、該スラリーのpHが3〜9であるバリア金属用研磨液。

IPC (3件)：

H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

FI (5件)：

H01L21/304 622D ,  H01L21/304 622X ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550C ,  C09K3/14 550Z

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17