特許

J-GLOBAL ID：200903042628471223

振動アクチュエータ及びその制御方法

発明者： 権田 常躬
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307662
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150786
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 従来の振動アクチュエータの制御は、電磁モータの制御をそのまま流用したものであるため、振動アクチュエータの特性を充分に生かすことができなかった。【解決手段】 縦振動及び屈曲振動を発生して加圧接触する相対運動部材3との間で相対運動を発生する振動子2と,振動子2に駆動信号を入力する制御装置とを備える振動アクチュエータであって、制御装置が、アクチュエータ駆動装置1と,位置検出装置3bと,目標位置設定装置4と,演算装置5,絶対値検出装置6と,許容範囲設定装置7と,比較判断装置8とを備え、相対運動部材3の実位置と目標位置との偏差の絶対値が予め定めた許容範囲内にある場合に、振動子2に停止信号を出力する。

請求項（抜粋）：

複数の振動を発生して加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を発生させる振動子と,前記振動子に駆動信号を入力する制御装置とを備える振動アクチュエータであって、前記制御装置は、前記相対運動部材の実位置と目標位置との偏差の絶対値が、予め定めた許容範囲内にある場合に、前記振動子に停止信号を出力することを特徴とする振動アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 2/00 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12

FI (3件)：

H02N 2/00 C ,  G05D 3/00 G ,  G05D 3/12 S