角速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-359835
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162229
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】半導体基板に、角速度を検出するための2個の振動子を形成してなる角速度センサにおいて、体格の小型化が可能な駆動電極の構成を実現する。【解決手段】半導体基板10に、2個の振動子30、40、及び、各振動子毎に櫛歯状の検出電極60、70を形成するとともに、各々の振動子30、40における両振動子が対向する部位に、櫛歯状に突出する電極部34、44を形成し、各々の電極部34、44を互いの櫛歯が噛み合うように対向して配置させており、各々の電極部34、44間に電圧を印加することにより両振動子30、40をx方向へ互いに逆相で駆動振動させるようにしている。

請求項（抜粋）：

半導体基板(10)と、この半導体基板に形成された2個の振動子(30、40)とを備え、前記両振動子を第1の方向(x)へ駆動振動させ、この駆動振動のもと角速度が印加されたときに前記第1の方向と直交する第2の方向(y)への前記両振動子の振動に基づいて前記角速度を検出するようにした角速度センサにおいて、各々の前記振動子における前記両振動子が対向する部位には、櫛歯状に突出する電極部(34、44)が形成されており、各々の前記電極部は、互いの櫛歯が噛み合うように対向して配置されており、前記両振動子の前記駆動振動を行うとき、各々の前記電極部間に電圧を印加することにより、前記両振動子を互いに逆相で振動させるようにしたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (17件)：

2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA06 , 4M112CA11 , 4M112CA15 , 4M112DA12 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA20

前のページに戻る