特許

J-GLOBAL ID：200903042639516660

ウエーハ結晶欠陥検出装置

発明者： 関口 眞吾 ,  山口 博史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291394
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129403
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、方向性を有する結晶欠陥の抽出及び分離を容易とし、結晶欠陥の自動検査を可能とするウェーハ結晶欠陥検出装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明のウェーハ結晶欠陥検出装置は、ウェーハ表面に対してそれぞれ異なる方向の斜上方からそれぞれ異なる色成分の光を照射する複数の光照射手段と、当該ウェーハ表面から該表面に対して所定の方向に反射される光を検出する検出手段と、この検出手段で検出された光から所定の色成分を抽出し、当該色成分による画像を出力する抽出手段とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

ウェーハ表面に対してそれぞれ異なる方向の斜上方からそれぞれ異なる色成分の光を照射する複数の光照射手段と、当該ウェーハ表面から該表面に対して所定の方向に反射される光を検出する検出手段と、この検出手段で検出された光から所定の色成分を抽出し、当該色成分による画像を出力する抽出手段とを有することを特徴とするウェーハ結晶欠陥検出装置。