特許
J-GLOBAL ID：200903042639887472
塩素原子濃度の測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-243001
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079981
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ処理装置における塩素原子濃度の測定において、蛍光強度の絶対的な値を測定し、また複数のプラズマ処理装置内の塩素原子濃度を比較しうる測定方法を提供する。【構成】 まず塩素系ガスプラズマを生成させたプラズマ処理装置内に波長領域230〜245nmのパルスレーザ光を照射して基底状態の塩素原子を2光子共鳴励起し、該励起塩素原子からの波長領域725〜990nmの蛍光を検出するとともに、励起源を停止した前記プラズマ処理装置内に四塩化炭素ガスを導入し、前記レーザ光を用いて塩素原子の蛍光を励起して検出し、これら塩素系ガスプラズマおよび四塩化炭素ガスの2つのばあいにおける塩素原子のレーザ誘起蛍光強度を比較する。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置における塩素原子濃度の測定方法であって、塩素系ガスプラズマを生成させたプラズマ処理装置内に波長領域230〜245nmのパルスレーザ光を照射して基底状態の塩素原子を2光子共鳴励起し、該励起塩素原子からの波長領域725〜990nmの蛍光を検出するとともに、励起源を停止した前記プラズマ処理装置内に四塩化炭素ガスを導入し、前記レーザ光を用いて塩素原子の蛍光を励起して検出し、これら塩素系ガスプラズマおよび四塩化炭素ガスの2つのばあいにおける塩素原子の蛍光強度を比較することを特徴とするレーザ誘起蛍光法による塩素原子濃度の測定方法。
IPC (2件)：
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