特許

J-GLOBAL ID：200903042643654202

熱式空気流量素子及び熱式空気流量計

発明者： 山田 雅通 ,  内山 薫 ,  渡辺 泉 ,  中田 圭一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029572
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230802
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、汚損の影響を受けることなく、計測精度の向上した熱式空気流量素子及び熱式空気流量計を提供することにある。【解決手段】熱式空気流量素子100は、空洞部112を有する半導体基板110の上に電気絶縁膜150を介して形成された発熱抵抗体120を備えている。発熱抵抗体120の上は、保護膜で保護されている。保護膜160の上には、光触媒薄膜170が形成される。発光手段180からの光によって、光触媒薄膜170の触媒作用が活性化され、付着した汚染物質が除去される。

請求項（抜粋）：

空洞部を有する半導体基板と、この基板上に電気絶縁膜を介して形成された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の上に形成された保護膜とを有する熱式空気流量素子において、上記保護膜の上であって、上記空洞部の上の領域に形成された光触媒薄膜を備えたことを特徴とする熱式空気流量素子。