特許
J-GLOBAL ID：200903042644718808
接触フォース原子フォース顕微鏡による2次元輪郭描写の方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-212110
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194154
出願日： 1993年08月05日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】接触フォース原子フォース顕微鏡による2次元輪郭描写の方法と装置を提供する。【構成】接触フォース原子フォース顕微鏡を使用して、尖端と接触するサンプル表面のリアルタイムで測定された傾斜に応答して、尖端の位置を制御することにより溝叉は線を有する集積回路のようなサンプルの2次元輪郭描写を達成する。
請求項（抜粋）：
経線方向の軸を有し、走査方向に運動を与えられる接触フォース原子フォース顕微鏡の尖端を使用して2次元輪郭を描写する方法であって、上記尖端とサンプル表面との接触を維持し、サンプル表面のその位置での傾斜を決定し、表面の輪郭に沿って上記尖端を追随させるように、決定された傾斜に応答して上記尖端の位置を制御するステップから成るサンプル表面の2次元輪郭描写の方法。
引用特許：
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