特許
J-GLOBAL ID：200903042653356110
バ-ンイン装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321686
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【目的】 周囲の温度に左右されず安定した電気的測定を行うことができるバ-ンイン装置を提供すること。【構成】 プローブカード40が一体的に固定されたカバー部21とウエハ載置台3が固定されたベース部とに分割可能に構成された容器2を用い、この容器2内にウエハWとフレキシブルなプローブカード40とを対向した状態で密閉する。プローブカード40の上側空間はダンパ室になっており、ここに流体を注入してその圧力によりプローブカード40の例えば一括コンタクトタイプのバンプ41をウエハW側に押圧する。プローブカード40の周縁部のバンプ42と容器2の周縁部の電極5を接続し、テストヘッド側への接続を図る。
請求項（抜粋）：
被検査体に対して温度調整をして検査を行うバ-イン装置において、被検査体を収容する収容空間を形成する容器と、この容器内に設けられ、被検査体を載置する載置部と、この載置部に載置された被検査体の複数の電極パッドに一括して夫々接触するように配列された複数の接触子を有するプロ-ブカ-ドと、前記容器の収容空間の外において前記プロ-ブカ-ドに一カ所に集約して設けられ、前記接触子と外部のコネクタとを電気的に接続するための接続部と、前記載置部に載置された被検査体に対して前記プロ-ブカ-ドを流体の圧力で押圧するための手段と、を備えたことを特徴とするバ-イン装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, G01R 31/28
H01L 21/66 H
, H01L 21/66 B
, G01R 1/06 E
, G01R 1/073 E
, G01R 31/26 H
, G01R 31/28 K
