特許

J-GLOBAL ID：200903042654303924

半導体製造装置の制御装置

発明者： 油谷 広治 ,  釣谷 千佳子 ,  小竹 文絵
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090639
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260233
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 オペレータに対して適切なメッセージ情報を提供することにより、半導体製造装置における異常発生に対して容易に迅速なる対処を講じさせ、半導体製造装置の稼働率を向上させる。【解決手段】 半導体製造装置の稼働を管理制御する制御装置において、半導体製造装置の稼働状況の具体的な内容を記述したメッセージ或いは稼働状況に対してオペレータがとるべき処置を記述したメッセージ情報を格納するメッセージ記憶手段12と、半導体製造装置からの稼働状況信号を受信する受信手段11と、稼働状況信号に対応するメッセージ情報をメッセージ記憶手段12から選択する選択手段14と、選択されたメッセージ情報をオペレータに表示する表示手段15とを備え、表示されたメッセージ情報によってオペレータに適切な処置を即座に講じさせる。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の稼働を管理制御する制御装置において、半導体製造装置の稼働状況の具体的な内容を記述したメッセージ情報を格納するメッセージ記憶手段と、半導体製造装置からの稼働状況信号を受信する受信手段と、受信した稼働状況信号に対応するメッセージ情報をメッセージ記憶手段から選択する選択手段と、選択されたメッセージ情報をオペレータに表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  G05B 23/02 301

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  G05B 23/02 301 N