導波路型光デバイスの気密封止構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338602
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198973
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】第1の基板中に光導波路が形成された導波路型光デバイスの気密封止に関し、小形で信頼度の高い気密構造を適用する。【構成】第1の基板と同じ材料かほぼ等しい熱膨張係数の第2の基板に光導波路と線対称の溝を設け、第2の基板をかぶせて接合する。片方の基板の周囲と他方の基板の表面を半田、低融点ガラス、樹脂のいずれかで固着する。光導波路と結合する光ファイバは、第1の基板上に形成された溝に配置され、第2の基板に形成された溝で挟まれる。両溝と光ファイバの隙間は、半田、若しくは低融点ガラスによって充填される。【効果】光導波路が形成された基板全体を気密用のきょう体に収容する必要がないので、小形、低価格化できる。しかも、基板の固定がないので固定用樹脂を使用しなくてよい。また、周囲温度の変化に対しても安定である。

請求項（抜粋）：

第1の基板中に光導波路が形成され、前記光導波路に光ファイバが光学的に結合した導波路型光デバイスにおいて、少なくとも前記光導波路が形成された光導波路パタンに相対する領域に第1の溝が形成された第2の基板が、前記第1の基板の光導波路パタンと前記溝のパタンを一致させるように接合されていることを特徴とする導波路型光デバイスの気密封止構造。

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