特許
J-GLOBAL ID:200903042678538574

切削工具用ダイヤモンド膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-319323
公開番号(公開出願番号):特開平5-148089
出願日: 1991年12月03日
公開日(公表日): 1993年06月15日
要約:
【要約】【目的】 単結晶ダイヤモンド工具や焼結体ダイヤモンド工具に比較して遜色なく、しかも安価で工具寿命の長いダイヤモンド切削工具を作製するため、その切刃素材となる気相合成ダイヤモンド膜を提供する。【構成】 対向する1対の面1、2を有し、1対の面の間においてダイヤモンドの粒径が増大することにより一方の面1よりも他方の面2のダイヤモンド粒径が大きい構造を有し、他方の面2のダイヤモンド10の平均粒径が膜厚Dの20%以上50%未満であり、一方の面1から他方の面2へ膜厚方向に沿って20%以上70%未満の部分(A-B)のダイヤモンド10の平均粒径がその部分から一方の面1までの距離dの5%以上20%以下であり、かつラマン分光法を用いた測定によるダイヤモンドの強度に対する無定形炭素の強度比が0.25以下である切削工具用ダイヤモンド膜。
請求項(抜粋):
切削工具の切刃に用いられる気相合成されたダイヤモンド膜であって、対向する1対の面を有し、前記1対の面の間においてダイヤモンドの粒径が増大することにより一方の面よりも他方の面のダイヤモンド粒径が大きい構造を有し、前記他方の面のダイヤモンドの平均粒径が膜厚の20%以上50%未満であり、前記一方の面から前記他方の面へ膜厚方向に沿って20%以上70%未満の部分のダイヤモンドの平均粒径が、前記部分から前記一方の面までの距離の5%以上20%以下であり、かつラマン分光法を用いた測定によるダイヤモンドの強度に対する無定形炭素の強度比が0.25以下である切削工具用ダイヤモンド膜。
IPC (2件):
C30B 29/04 ,  B23P 15/28

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