三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293342
公開番号（公開出願番号）：特開平10-120628
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】微細加工技術に適した高解像性を有し、特に高反射基板上で用いた場合でも定在波やハレーションの発現がない化学増幅ポジ型レジスト材料を与えることができ、化学増幅ポジ型レジスト材料の成分として好適な化合物を得る。【解決手段】下記一般式(1)又は(2)で示される三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体。【化1】(R1、R2、R3はH、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルケニル基又はアリール基、R4はそれぞれOを含んでいてもよい2価の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基又は酸素原子、R5は酸不安定基、pは0又は1、k、h、mは0〜9、nは1〜10、k+h+m+n≦10を満足する。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)又は(2)で示される三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体。【化1】(式中、R1、R2、R3はそれぞれ独立に水素原子、直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、直鎖状もしくは分岐状のアルコキシ基、直鎖状もしくは分岐状のアルコキシアルキル基、直鎖状もしくは分岐状のアルケニル基又はアリール基である。R4は酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の脂環式炭化水素基、酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の芳香族炭化水素基又は酸素原子であり、R5は酸不安定基である。pは0又は1である。k、h、mはそれぞれ0〜9の整数、nは1〜10の整数で、かつk+h+m+n≦10を満足する。)

IPC (7件)：

C07C 69/76 , C07C 69/708 , C07C 69/94 , C07F 7/08 , C07F 7/18 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601

FI (7件)：

C07C 69/76 A , C07C 69/708 Z , C07C 69/94 , C07F 7/08 K , C07F 7/18 K , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601

引用特許：

審査官引用 (4件)

新規ポリエステルとその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-119526 出願人：財団法人石油産業活性化センター, ゼネラル石油株式会社
特開平2-215809
特開昭51-076250

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