特許
J-GLOBAL ID:200903042685716780

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-019144
公開番号(公開出願番号):特開平8-213465
出願日: 1995年02月07日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、半導体装置に使用されるヒューズ部材の形成技術に関し、特別な製造工程を追加することなく、比較的小エネルギーのレーザー光により十分かつ容易にヒューズ部材を切断可能にすることを目的とする。【構成】 レーザー光5により切断可能なヒューズ部材1を有する半導体装置において、ヒューズ部材1の長さLが最大でもレーザー光5の照射スポット径Dと同等の大きさとなるように該ヒューズ部材を設けるように構成する。
請求項(抜粋):
レーザー光(5)により切断可能なヒューズ部材(1)を有する半導体装置において、前記ヒューズ部材(1)の長さ(L)が最大でも前記レーザー光(5)の照射スポット径(D)と同等の大きさとなるように該ヒューズ部材を設けたことを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/82 ,  H01S 3/00

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