特許

J-GLOBAL ID：200903042687025474

変位計

発明者： 岡部 正治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-171444
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338707
出願日： 1995年06月14日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】 高速から低速まで広範囲に対応できる安価な変位計を実現する。【構成】 レーザ光L1 は偏光板2を経てビームスプリッタ3に導入されて測定光と参照光に分割され、これらは、被測定物M1 、参照ミラーR1 によって反射されたうえでビームスプリッタ3に戻る。測定光は1/8波長板4、参照光は1/4波長板5をそれぞれ2回ずつ通ってビームスプリッタ3に戻り、干渉光C1を発生する。測定光は円偏光で戻るため、干渉光C1 を2つの偏光成分に分割してそれぞれの光量を検出し、干渉光C1 のエネルギーベクトルの位相を調べてその回転数から被測定物M1 の変位量を検出する。

請求項（抜粋）：

光源から発生された可干渉光を偏光光束に変換する偏光手段と、前記偏光光束を参照光と測定光に分割し、参照面と被測定物の表面によってそれぞれ反射させたうえで重ね合わせて干渉光を得る干渉手段と、前記参照光の光路に配設された1/4波長移相子と、前記測定光の光路に配設された1/8波長移相子と、前記干渉光を2つの偏光成分に分割して両者の光量を個別に検出する光量検出手段と、該光量検出手段の出力に基づいて前記被測定物の変位量を演算する演算手段を有する変位計。