特許

J-GLOBAL ID：200903042689201466

MOCVD原料用混合有機金属供給装置およびMOCVD原料用混合有機金属の供給方法

発明者： 八子 忠明 ,  門倉 秀公 ,  新澤 勉
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社 ,  日本電気株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-174871
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021352
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【構成】 共通の金属原子を有し且つ固有の沸点を有する2種類の有機金属からなる混合有機金属を充填した容器の温度を調節し、混合有機金属を蒸発してMOCVD原料として供給する方法において、蒸発時における容器内の混合有機金属の組成が一定になるように該容器内に混合有機金属のうち蒸気圧の高い方の有機金属を供給しつつ混合有機金属を蒸発させることを特徴とするMOCVD原料用混合有機金属の供給方法。【効果】 2種類の有機金属を混合してなるMOCVD原料用混合有機金属を組成変化を招くことなくMOCVD装置に供給可能としたもので、得られる半導体や配線膜の均一性が向上し、かつ容器内の混合有機金属が終始一定組成で最後まで使用できるため経済性も向上する。

請求項（抜粋）：

共通の金属原子を有し且つ固有の沸点を有する2種類の有機金属からなる混合有機金属を充填した容器に、該混合有機金属のうち蒸気圧の高い有機金属を充填した容器が該容器中の有機金属を定量供給可能に接続されている事を特徴とするMOCVD原料用混合有機金属供給装置。