特許

J-GLOBAL ID：200903042690194635

熱処理装置及び熱処理方法

発明者： 齋藤 幸正 ,  本間 謙治
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283164
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 処理ガス配管等から万が一、可燃性の処理ガスが漏出したとしてもその処理ガスの爆発を未然に防止することができる安全性の高い熱処理装置及び熱処理方法を提供する。【構成】 被処理体Wを可燃性の処理ガスにより処理する熱処理炉3と、この熱処理炉3に処理ガスを供給する処理ガス配管の周囲の少なくとも一部を気密に取り囲んで設けられた排気室26と、この排気室26の内部に不活性ガスを供給して不活性ガス雰囲気を形成する不活性ガス供給手段27とを具備している。これにより、処理ガス配管等から万が一、可燃性の処理ガスが熱処理外に漏出したとしても、その処理ガスが不活性ガス雰囲気の排気室26に収容されるため、爆発することはない。

請求項（抜粋）：

被処理体を可燃性の処理ガスにより処理する熱処理炉と、この熱処理炉に処理ガスを供給する処理ガス配管の周囲の少なくとも一部を気密に取り囲んで設けられた排気室と、この排気室の内部に不活性ガスを供給して不活性ガス雰囲気を形成する不活性ガス供給手段とを具備したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-151632
  
• 特開平2-222135
  
• 特開平4-207019