高純度窒化ホウ素成形体及び窒化ホウ素成形体の高純度化方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092202
公開番号（公開出願番号）：特開平5-194039
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【構成】窒化ホウ素成形体を周波数400kHz以上の超音波をかけた溶媒中で洗浄処理することにより、または窒化ホウ素成形体を1Torr以下の真空下で1300〜1800°Cに加熱し、次いで非酸化性ガス雰囲気中で1800〜2200°Cに加熱して一定温度に保持することにより、前記窒化ホウ素成形体中のB2O3の含有量を0.1重量%以下とした高純度窒化ホウ素成形体を得る。【効果】本発明によれば、窒化ホウ素成形体中のB2O3含有量を簡単かつ確実に0.1%以下とすることができ、このようなB2O3含有量が0.1%以下である窒化ホウ素成形体はAlN基板の焼成用セッターなどとして好適に用いられる。

請求項（抜粋）：