特許
J-GLOBAL ID:200903042699235679

高感度高速撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-293950
公開番号(公開出願番号):特開2005-064304
出願日: 2003年08月15日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】 衝突電離増幅CCD(CCM)を、CCD型高速撮影用撮像素子に効果的に適用できるようにし、実用的な高感度高速撮像素子を実現する。【解決手段と効果】 高速化のための多線並列読み出しCCDにおいて、VCCD140と多数のHCCD151の間に、多段308、309の往復衝突電離増幅CCD(BCCM)142を挿入する。これにより、衝突電離増幅衝突CCDをスペース的に無駄なく配置できる。また高い電圧の振り幅で駆動するCCMを、高速駆動する必要のあるHCCDの駆動周波数に比べてはるかに低い周波数で駆動できる。また高速電子を発生するCCMを出力アンプから離して配置できる。これらにより、CCMの駆動を容易にでき、またノイズを低減することができる。CCD画素周辺記録型撮像素子にBCCMを導入すると、これらの効果がより顕著になり、超高速超高感度撮像素子が実現できる。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
電荷を進行方向と逆方向の双方向に転送でき、かつ少なくともどちらか一つの方向に転送するとき、電荷の衝突電離によって電荷の数を増加させる手段を有するCCDを「往復衝突電離増幅CCD」と呼ぶとき、複数の画像信号出力端子を備えるとともに、複数の並列に配置した垂直CCDの各々と受光面外に配置した水平CCDの間に、複数段の直列に接合した往復衝突電離増幅CCDを、該垂直CCDの数だけ並列に備えることを特徴とする撮像素子、および該撮像素子を備える撮影装置。
IPC (2件):
H01L27/148 ,  H04N5/335
FI (2件):
H01L27/14 B ,  H04N5/335 F
Fターム (15件):
4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118DA16 ,  4M118FA06 ,  4M118FA42 ,  4M118FA44 ,  4M118FA45 ,  4M118GD03 ,  5C024CX03 ,  5C024CX41 ,  5C024GY41 ,  5C024HX17 ,  5C024JX25
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • Hynecek, U.S. Pat. No.5,337,340, Charge Multiplying Detector (CMD) Suitable for Small Pixel CCD Image Sensors
  • イメージセンサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-184092   出願人:テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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