特許

J-GLOBAL ID：200903042703834876

マイクロガイド機構、マイクロアクチュエータおよびマイクロセンサ

発明者： 安田 進 ,  廣瀬 太 ,  八木 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-019239
公開番号（公開出願番号）：特開2001-205599
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：

【要約】【課題】 電気メッキの埋まる速度の差を少なくし、最終的に出来上がる構造体の高さをそろえることで、メッキ時間を短縮し、後加工の必要性を少なくしたマイクロガイド構造体を提供する。【解決手段】 基板と、該基板に固定された固定部材と、長方形平板部材の一部が幅方向に膨らんで柱状構造部を形成しているマイクロばね部材とを有し、前記マイクロばね部材が一端において前記固定部に結合されているマイクロカンチレバーと、可動子を有し、該可動子が、前記マイクロカンチレバーの自由端に連結されており、前記マイクロカンチレバーがたわむことで前記可動子が前記基板に対して相対的に可動であり、前記可動子と前記マイクロばね部材が、同一材料からなるマイクロガイド機構。

請求項（抜粋）：

長方形平板部材からなるマイクロばね部材であって、前記長方形平板部材の一部が幅方向に膨らんで柱状構造部を形成していることを特徴とするマイクロばね部材。

IPC (7件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  C25D 1/00 381 ,  H01L 41/083 ,  H02K 33/02 ,  H02N 1/00 ,  H02N 2/00

FI (7件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  C25D 1/00 381 ,  H02K 33/02 A ,  H02N 1/00 ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 N

Fターム (5件)：

5H633BB07 ,  5H633GG04 ,  5H633GG09 ,  5H633GG15 ,  5H633JA03