特許
J-GLOBAL ID：200903042704880561
半導体製造装置に於けるウェーハ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-010213
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ウェーハ搬送時の待ち時間を解消し、又搬送動作の休止時間を減少させウェーハ搬送時間の短縮を図る。【構成】半導体製造装置外部に対してウェーハカセットの授受を行うカセット授受装置と、該カセット授受装置とカセットストッカとの間でウェーハカセットの搬送を行うカセットローダとを具備し、前記カセットローダが昇降可能なガイドビームを有し、ガイドビーム22にウェーハカセット挿脱ユニット23が横行可能且回転可能に設けられ、前記ウェーハカセット収納棚列が放射状に配設され、該チャッキングヘッドの回転だけで、全てのウェーハカセット収納棚列に対して移載作業が可能になり、ウェーハ移載作業を能率よく行うことができ、或は挿脱ユニットは横行・回転によりカセットストッカの全ての列に対してウェーハカセットの挿脱が行え、ウェーハ移載機とカセットローダとは相互干渉を避け、ウェーハの移載とウェーハカセットの挿脱とを併行して行える。
請求項（抜粋）：
ウェーハカセットを所要数収納するカセットストッカと、カセットストッカのウェーハカセットに装填されたウェーハを移載するウェーハ移載機とを具備する半導体製造装置に於けるウェーハ搬送装置に於いて、前記ウェーハ移載機が回転可能なチャッキングヘッドを有し、前記カセットストッカが複数のウェーハカセット収納棚列を有し、該ウェーハカセット収納棚列が放射状に配設されていることを特徴とする半導体製造装置に於けるウェーハ搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 1/00 543
, B65G 49/07
, H01L 21/68
