特許

J-GLOBAL ID：200903042712566906

露光システム

発明者： 肥塚 健二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106207
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274582
出願日： 1996年04月03日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】 露光システムのネットワーク上に接続されている他の装置内に保存されているデータファイルを使用可能として、ファイル管理の簡略化を図る。【解決手段】 複数の露光装置(12,14,20)のメモリ(12M,14M,20M)及び管理用コンピュータ(10)のメモリ(10M)に、データファイル(10F,12F,14F,20FA,20FB)が格納され、これらのうちの参照すべきファイルを指定して動作モードが選択される。リモート限定モードの場合にはコンピュータ側のデータファイルのみが使用され、リモート優先モードの場合はコンピュータ側のデータファイルが優先的に使用される。また、自号機限定モードの場合には該当する露光装置のデータファイルのみが使用され、自号機優先モードの場合には該当する露光装置のデータファイルが優先的に使用される。

請求項（抜粋）：

複数の露光装置;これらの露光装置の各露光動作を統括的に管理する管理装置;前記各露光装置にそれぞれ設けられており、露光動作で参照されるデータファイルが格納される自号機記憶手段;前記管理装置に設けられており、前記露光装置の露光動作で共通に参照されるデータファイルが格納される共通記憶手段;前記データファイルのうちの参照すべきファイルを指定して動作モードを選択するための動作モード選択手段;を備えており、前記動作モード選択手段は、前記共通記憶手段のデータファイルのみを参照するリモート限定モード;前記いずれかの記憶手段のデータファイルのうち、共通記憶手段のデータファイルを優先的に参照するリモート優先モード;該当する露光装置の自号機記憶手段のデータファイルのみを参照する自号機限定モード;前記いずれかの記憶手段のデータファイルのうち、該当する露光装置の自号機記憶手段のデータファイルを優先的に参照する自号機優先モード;のいずれか一つを選択することを特徴とする露光システム。

IPC (5件)：

G06F 12/00 535 ,  G06F 12/00 545 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G06F 12/00 535 Z ,  G06F 12/00 545 M ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 502 G