特許

J-GLOBAL ID：200903042715745747

光学性能測定方法及び装置

発明者： 有賀 進 ,  大川 金保
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125678
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296879
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 被検光学系のMTFの測定精度の向上を図る。【構成】 被検光学系2の透過波面収差を測定する干渉計部3と、光軸を中心に被検光学系2を回転する被検光学系回転機構4を設ける。被検光学系2を任意の位置、その位置から90°,180°回転してそれぞれ測定した透過波面収差WA,WB,WCから、WAS=(WA-WA)/2,WCM=(WA-WC)/2の演算及びWA,WAS,WCMをそれぞれツェルニケの展開をし、この展開されたツェルニケの係数を、WAより球面収差成分、WASよりアス成分、WCMより成分を抜き出し、この抜き出したツェルニケの係数より波面収差を演算するとともに、この算出した波面収差よりMTFを求める演算部を設ける。このMTFの演算結果を表示する表示部を設ける。

請求項（抜粋）：

被検光学系の透過波面の透過波面収差を干渉計部により測定する際、まず、被検光学系を光軸を回転軸とした任意の位置で測定して透過波面収差WAを求め、次に、被検光学系を光軸を中心に90°回転して測定し透過波面収差WBを求め、さらに、被検光学系を最初の位置から180°の位置に回転して測定し透過波面収差WCを求め、この求めた透過波面収差を演算部により、WAS=(WA-WB)/2、WCM=(WA-WC)/2と演算するとともに、このWA,WAS,WCMをそれぞれツェルニケの展開をし、展開されたツェルニケの係数を、WAより球面収差成分、WASよりアス成分、WCMよりコマ成分を抜き出し、抜き出したツェルニケの係数より波面収差を演算し、この演算した波面収差よりMTFを求めることを特徴とする光学性能測定方法。