特許

J-GLOBAL ID：200903042721156265

全リンの分析方法

発明者： 伊藤 匡正 ,  永本 博明
出願人/特許権者： 株式会社住化分析センター
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181891
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033439
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 アルゴン高周波誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた全リンの分析方法において、干渉イオンの影響を少なくし、二重収束型のような高分解能の質量分析計を用いずとも、正確な全リンの微量分析を可能とする。【解決手段】 プラズマトーチ7で低温プラズマを生成すると共に、質量数47の一酸化リン分子の一価のプラスイオンを検出して全リンを定量する。好ましい低温プラズマ生成のために、キャリヤガス5として使用するアルゴンガスとは別異に、スプレーチャンバ10内に好ましくは0.1〜0.5リットル/分、特に好ましくは0.3〜0.4リットル/分のアルゴンガスを導入し、0.8〜1.1KWの高周波出力を用いる。

請求項（抜粋）：

高周波誘導結合にてプラズマを生成するイオン化源のプラズマ生成ガスとしてアルゴンガスを使用したアルゴン高周波誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて全リンを分析する方法において、イオン化源を低温プラズマとし、質量数47の一酸化リン分子の一価のプラスイオンを検出して全リンを定量することを特徴とするリン元素の分析方法。