特許
J-GLOBAL ID：200903042722138856
チャンバー内のケミカル汚染度モニタ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180332
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム等のチャンバー内の有機ガス分等のケミカル物質による汚染度をリアルタイムで検出できるケミカル汚染度モニタ方法を提供する。【解決手段】 水晶振動子11に電極12を設けて形成した汚染センサ10をクリーンルーム20等のチャンバ内に配置して、その汚染センサ10の電極12にケミカル物質を付着させ、その水晶振動子11の共振周波数の変化からケミカル汚染度をモニタするようにしたチャンバー内のケミカル汚染度モニタ方法である。
請求項（抜粋）：
水晶振動子に電極を設けて形成した汚染センサをクリーンルーム等のチャンバ内に配置して、その汚染センサの電極にケミカル物質を付着させ、その水晶振動子の共振周波数の変化からケミカル汚染度をリアルタイムでモニタすることを特徴とするチャンバー内のケミカル汚染度モニタ方法。
引用特許：
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