スパッタイオンポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228213
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052643
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】イオンポンプの排気能力の低下を事前に的確に把握し得る機能を備えたイオンポンプを提供する。【解決手段】スパッタイオンポンプのイオン電流を検出する手段と、該イオン電流を積算する手段と、該積算手段によるイオン電流積算値を表示する手段を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

スパッタイオンポンプのイオン電流を検出する手段と、該イオン電流を積算する手段と、該積算手段によるイオン電流積算値を表示する手段を備えることを特徴とするスパッタイオンポンプ。

Fターム (3件)：

5C038AA06 , 5C038AA10 , 5C038AA11

前のページに戻る