特許

J-GLOBAL ID：200903042729763640

光学素子のレーザー耐久性評価装置、光学素子のレーザー耐久性評価方法及び露光装置

発明者： 塩谷 英一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275617
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099753
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 強度分布がある光を使用する場合にも、正確なレーザー耐久性評価を行なえる光学素子のレーザー耐久性評価装置及び方法を提供する。【解決手段】 光源1からのレーザー光2は、ビーム成形光学系3、エネルギー調整光学系4、アパーチャー5を通過し、ビームスプリッタ6により照射光7参照光12とに分離される。照射光7の強度は、参照光12を用いて光量モニタセンサー13とオシロスコープ14でモニタされる。照射光7はサンプル10に照射される。光量モニタセンサー13でモニタされた照射光強度は、オシロスコープ14を介してコンピューター15に読み込まれる。レーザー光軸上に均一化光学系18が設けられているので、エキシマレーザー光のように空間的に不均一な強度分布を有する光を使用した場合でも、正確なLDT測定を行なうことができる。

請求項（抜粋）：

光学素子にレーザー光を照射したあとの光学素子の変化を観察する評価装置であって、レーザー光源から被検体である光学素子までの光の通路中に、光源レーザーの光量ムラを均一化する光量均一化機構を設けたことを特徴とする光学素子のレーザー耐久性評価装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01N 17/00 ,  G01N 21/00

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G01N 17/00 ,  G01N 21/00 A

Fターム (19件)：

2G050AA02 ,  2G050AA07 ,  2G050BA09 ,  2G050CA10 ,  2G050DA03 ,  2G050EA03 ,  2G050EB10 ,  2G050EC10 ,  2G059AA03 ,  2G059BB20 ,  2G059EE16 ,  2G059FF20 ,  2G059GG01 ,  2G059HH03 ,  2G059HH04 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK08 ,  2G059MM05 ,  2G086EE12