新規の抽出技術による分画されたノボラック樹脂の製造法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江崎光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-585716
公開番号（公開出願番号）：特表2003-529621
出願日： 1999年11月03日
公開日（公表日）： 2003年10月07日
要約：

【要約】本発明は、一様の分子量及び低められた多分散性を有する成膜性の、分画されたノボラック樹脂画分を、液/液遠心分離器を用いることにより、連続的な分画及び分離方法において単離し、これによって、ノボラック樹脂に不所望な変化を与える恐れのある加工時間及び単離段階を低減する方法を提供する。また、このような分画されたノボラック樹脂からフォトレジスト組成物を製造する方法並びにこのようなフォトレジスト組成物を用いて半導体デバイスを製造する方法も提供される。

請求項（抜粋）：

a) 酸触媒の存在下にホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒドまたはホルマリンを一種またはそれ以上のフェノール化合物と縮合し、それによってノボラック樹脂を製造し、b) 水溶性有機極性溶剤及びフォトレジスト溶剤を、段階a)からのノボラック樹脂反応混合物に加え、この際、フォトレジスト溶剤と水溶性有機極性溶剤の比率は約10/90 〜70/30 とし、c) 段階b)からの混合物を、一分間当たり約0.01〜100 ガロンの供給速度及び約 0°Cから段階b)からの混合物中の低沸点溶剤の沸点未満の最大温度までの温度で液/液遠心分離器に供給し、及び実質的に純粋なC5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素溶剤を液/液遠心分離器の別の入口に、約0.01〜100gal ./分の供給速度で及び段階b)からの水溶性有機極性溶剤/フォトレジスト溶剤とC5-C8 アルカン、水または芳香族溶剤との比率を約5:1 〜約0.5 〜1として、入口供給部を介して供給し、d) 段階c)からの混合物を含む上記液/液遠心分離器を少なくとも500rpmの速度で回転させ、それによって二相系を二つの別個の出口から二つの容器に分離及び収容し、この際、重い方の相(H) は、少量のC5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素溶剤と一緒に、水溶性有機極性溶剤及びフォトレジスト溶剤中に高分子量ノボラック樹脂分画を含み、一方、軽い方の相(L) は、1) 低分子量ノボラック樹脂分画、2) C5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素溶剤、3) 水溶性有機極性溶剤及び4)フォトレジスト溶剤を含み、e) 段階d)の二相系の軽い方の相(L) は、収容後に、二つの相に分離することがあり、これらの二つの第二相の軽い方はC5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素溶剤と少量の水溶性有機極性溶剤及び約15〜20%のフォトレジスト溶剤を含み、一方、これらの二つの第二相の重い方は、約10〜15%のC5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素と一緒に、水溶性有機極性溶剤及びフォトレジスト溶剤中に溶解された低分子量ノボラックオリゴマー及び未反応のフェノール化合物を含み、f) 残留C5-C8 アルカン、水または芳香族炭化水素溶剤を段階d)からの重い方の相から実質的に除去し、フォトレジスト溶剤中に溶解されたノボラック樹脂を残す、ことを含む、成膜性ノボラック樹脂の製造方法。

IPC (3件)：

C08G 8/08 , C08G 8/00 , G03F 7/023 511

FI (3件)：

C08G 8/08 , C08G 8/00 F , G03F 7/023 511

Fターム (23件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025BJ04 , 2H025BJ05 , 2H025BJ10 , 2H025CB29 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025FA17 , 4J033CA02 , 4J033CA03 , 4J033CA12 , 4J033CC03 , 4J033CC08 , 4J033CC09 , 4J033CC11 , 4J033CD04 , 4J033CD05 , 4J033HA12 , 4J033HB10

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