透明導電膜およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234521
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 ITO膜に比べてエッチング特性に優れるとともにITO膜と同等の導電性を有し、かつITO膜よりも耐湿性に優れている透明導電膜を提供する。【構成】本発明の透明導電膜は、インジウムと亜鉛との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75であることを特徴とする膜、またはインジウムと亜鉛、およびSn,Al,Sb,GaおよびGeからなる群より選択される少なくとも1種の第3元素との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75で、InとZnと第3元素の合量に対する前記第3元素の割合が20at%以下であることを特徴とする膜である。

請求項（抜粋）：

インジウムと亜鉛との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (6件)：

C01G 15/00 , C23C 14/08 , C23C 18/12 , G02F 1/1343 , H01B 5/14 , H01B 13/00 503

引用特許：

審査官引用 (1件)

非晶質透明導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-095568 出願人：旭硝子株式会社

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