特許
J-GLOBAL ID：200903042745205852
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242084
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096724
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 ICPーMSの分子イオンの生成を抑制する。【構成】 第二ガス流量制御部を設置して、プラズマトーチの中心にネブライザーガスと第二ガス流量制御部で流量制御するスプレーチャンバーガスを流し、かつスプレーチャンバーガスにアルゴンを使用した構成。【効果】 分子イオンが低減するため、分子イオンの干渉を受ける鉄やカリウム等の分析性能が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
液体試料中の微量不純物の同定・定量をする目的として、試料溶液を霧状に噴霧するネブライザーと、前記ネブライザーで前記試料溶液を霧状に噴霧させるためのガスを制御して供給するガス流量制御部と、前記ネブライザーで噴霧された前記試料溶液の分級を行なうスプレーチャンバーと、三重管構造をしていて中心が前記スプレーチャンバーに接続されたプラズマトーチと、前記プラズマトーチでプラズマを発生・維持するためのエネルギーを供給する高周波電源およびワークコイルと、前記プラズマトーチで維持されたプラズマ中でイオン化した前記微量不純物を質量分離して検出する質量分析部からなる誘導結合プラズマ質量分析装置において、第二ガス流量制御部を設置して、前記プラズマトーチの中心に流すガスを前記ネブライザーを通して行なう前記ガス流量制御部および前記第二ガス流量制御部により制御し、かつ前記第二ガス流量制御部で制御するガスにアルゴンを使用したことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/04
, G01N 27/62
, H01J 49/26
