特許

J-GLOBAL ID：200903042749391685

ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198304
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023894
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 ステージの駆動時に固定子に生ずる反力に起因する振動の影響を軽減し、ステージの位置制御性を向上する。【解決手段】 シャフトモータの固定子82A、82Bの長手方向の両端部をベース部材40と独立して支持する支持部材86A〜86Dを備えている。このため、固定子との間の電磁相互作用により可動子80A、80B及びステージWSTが固定子に沿って駆動される際に該固定子に生ずる反力は、支持部材86A〜86Dを介して設置床の床面に伝達され(逃がされ)、その反力がベース部材に直接的に伝わってその振動要因となることがない。従って、ステージWSTの駆動時に固定子に生ずる反力に起因する振動の影響を軽減することができ、ステージの位置制御性を向上することができる。

請求項（抜粋）：

所定方向に延びる固定子と;前記固定子との間の電磁相互作用により前記固定子に沿って駆動される可動子に接続されたステージと;前記ステージを移動可能に支持するベース部材と;前記固定子の前記所定方向の両端部を前記ベース部材と独立して支持する支持部材とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  B23Q 1/25 ,  H02K 41/03

FI (7件)：

H01L 21/30 515 G ,  G03F 7/22 H ,  H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 525 E ,  B23Q 1/14 B

Fターム (29件)：

3C048AA01 ,  3C048BC02 ,  3C048CC07 ,  3C048DD06 ,  3C048EE10 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046DA08 ,  5F046DB05 ,  5F046DC04 ,  5F046DC10 ,  5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG08 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641JA06 ,  5H641JA07