特許
J-GLOBAL ID：200903042749809426
裏面洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155612
公開番号（公開出願番号）：特開平5-317789
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板等に塗布した塗布液のうち裏面に廻り込んだ塗布液を効率よく除去する。【構成】 カップ11内にスピンナーによって回転せしめられる吸着プレート12と、この吸着プレート12を囲むマウント部材13を配置し、マウント部材13の傾斜した上面には径方向に沿って3ヶ所にてガイドレール14a,14b,14cを形成し、各ガイドレール14a,14b,14cにはブロック15...が係合し、ブロック15には洗浄液の噴出ノズル17が固着され、噴出ノズル17には洗浄液供給チューブ18が接続されている。
請求項（抜粋）：
板状被処理物の表面に塗布した塗布液のうち裏面に廻り込んだ塗布液を洗浄する装置において、この洗浄装置は板状被処理物を吸着して回転せしめる吸着プレートとこの吸着プレートを囲むマウント部材とをカップ内に配置し、前記マウント部材には径方向に溝または突条を設け、この溝または突条に洗浄液噴出ノズルを取り付けたブロックを位置調整可能に係合したことを特徴とする裏面洗浄装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, B05C 9/12
, H01L 21/027
