特許

J-GLOBAL ID：200903042762724723

パターニングされた物質の製造方法

発明者： 藪 浩 ,  下村 政嗣 ,  居城 邦治 ,  松尾 保孝 ,  山本 貞明 ,  田中 賢
出願人/特許権者： 国立大学法人 北海道大学
代理人 (3件)： 飯沼 和人 ,  鷲田 公一 ,  一入 章夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006320806
公開番号（公開出願番号）：WO2007-049494
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月03日
要約：

物質を腐食もしくは溶解することのできる液体を含浸させた鋳型を該物質に押し当て、鋳型が有するパターンを物質に転写する、パターニングされた物質を製造する方法。本発明の方法は、光拡散フィルム等の光学フィルム、その中でも可視光の波長以下の構造が求められるモスアイ型の反射防止膜の製造に利用可能な、回折限界を超えたマイクロパターニングを有するポリマーフィルムを製造することができる。

請求項（抜粋）：

物質を腐食もしくは溶解することのできる液体を含浸させた鋳型を該物質に押し当て、鋳型が有するパターンを物質に転写する、パターニングされた物質を製造する方法。

IPC (3件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  G03F7/20 501

Fターム (34件)：

2H097AA20 ,  2H097LA10 ,  2H097LA15 ,  2H097LA16 ,  4F202AC03C ,  4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH36 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ10 ,  4F202AJ15 ,  4F202AR20 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD03 ,  4F202CD23 ,  4F202CD30 ,  4F202CK90 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許5,259,926号公報
  
• 米国特許5,772,905号公報