特許
J-GLOBAL ID：200903042767330723
規則的パターンを有するウェハの表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178915
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045999
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 規則的なパターンを有するウェハの表面に発生する種々の形状の欠陥を規則的なパターンと確実に識別する規則的なパターンを有するウェハの表面検査方法を提供する。【構成】 規則的なパターンを有するウェハ表面の撮像によりえられる画像データをフーリエ変換によって周波数成分に変換し、該変換された周波数成分から前記規則的パターンの周波数成分をフィルタリングし、該フィルタリングされた周波数成分をフーリエ逆変換することにより規則的パターンを有するウェハ表面の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
規則的パターンを有するウェハ表面の撮像によりえられる画像データをフーリエ変換によって周波数成分に変換し、該変換された周波数成分から前記規則的パターンの周波数成分をフィルタリングし、該フィルタリングされた周波数成分をフーリエ逆変換することにより規則的パターンを有するウェハ表面の欠陥を検出する規則的パターンを有するウェハの表面検査方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G06F 17/14
