特許

J-GLOBAL ID：200903042773838062

照明装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 塩澤 崇永
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090978
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、波長180nm以下の光源を使用する露光装置において、照明面における照度ムラの変化や露光量制御を悪化させることのない照明装置、露光装置及びデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の一側面としての照明装置は、発振レーザーを光源として波長180nm以下の光束を用いて所定の照明領域を照明する照明装置であって、弗化マグネシウム結晶より成形され、光軸と垂直な面内に関し前記光束の偏光状態を異ならせる光学部材を有する。

請求項（抜粋）：

発振レーザーを光源として波長180nm以下の光束を用いて所定の照明領域を照明する照明装置であって、フッ化マグネシウム結晶より成形され、光軸と垂直な面内に関し前記光束の偏光状態を異ならせる光学部材を有する照明装置。

IPC (8件)：

G02B 27/00 ,  G02B 1/02 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/30 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/00

FI (8件)：

G02B 1/02 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/30 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/00 B ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (24件)：

2H049BA12 ,  2H049BA42 ,  2H049BB03 ,  2H049BC21 ,  2H052BA01 ,  2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046CA03 ,  5F046CA07 ,  5F046CB15 ,  5F046CB25 ,  5F072AA06 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072MM01 ,  5F072TT03 ,  5F072TT04 ,  5F072TT12 ,  5F072YY09