特許
J-GLOBAL ID：200903042775016418
単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-074117
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279169
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【構成】 黒鉛ルツボ30の外周面に突起12および/あるいは窪み13が形成されている単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。【効果】 黒鉛ルツボ30の外周面におけるSiの付着、滴下並びに黒鉛ルツボと受け台との篏合面および/あるいは黒鉛ルツボの分割面へのSiの浸透および固着を抑制することができ、黒鉛ルツボと石英ルツボとの熱膨張率の差に基づく黒鉛るつぼの破損を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
黒鉛ルツボ外周面に突起および/あるいは窪みが形成されていることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
