特許

J-GLOBAL ID：200903042786423589

基板搬送方法及び基板搬送装置

発明者： 岡本 裕昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221365
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044263
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハ等の基板、特にオリフラ等を有する基板を高いスループットで予め設定された基準位置へ正確に搬送できる基板搬送方法と基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 基板搬送部により所定の搬送経路に沿って基板を基板支持部まで搬送する方法において、搬送される前記基板の外形状を搬送方向に対して直交する方向に長手方向を有する光学センサにより連続的に検出する工程S1〜S3と、前記検出された結果に基づいて、前記搬送経路において予め設定されている前記基板の基準位置と前記搬送される基板の位置とのズレ量を求める工程S4〜S12と、前記基板のズレ量を補正する工程S13とからなる。

請求項（抜粋）：

基板搬送部により所定の搬送経路に沿って基板を基板支持部まで搬送する方法において、搬送される前記基板の外形状を搬送方向に対して直交する方向に長手方向を有する光学センサにより連続的に検出する工程と、前記検出された結果に基づいて、前記搬送経路において予め設定されている前記基板の基準位置と前記搬送される基板の位置とのズレ量を求める工程と、前記基板のズレ量を補正する工程と、からなることを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (20件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA36 ,  5F031JA03 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA10 ,  5F046CD01 ,  5F046CD06 ,  5F046DA30 ,  5F046DB05 ,  5F046DC14