特許

J-GLOBAL ID：200903042792074383

ドライアイススノー噴射洗浄方法及び装置

発明者： 斎木 順一
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (1件)： 白木 大太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049301
公開番号（公開出願番号）：特開2003-245619
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：

【要約】【課題】 ドライアイススノー噴射洗浄方法において被洗浄物表面に生ずる水分に起因する汚れの発生を低減することを目的とする。【解決手段】 被洗浄物にドライアイススノーを吹き付けて洗浄するに当たり、該ドライアイススノーを噴射するノズル先端部を加熱する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物にドライアイススノーを吹き付けて洗浄するに当たり、該ドライアイススノーを噴射するノズル先端部を加熱することを特徴とするドライアイススノー噴射洗浄方法。

IPC (4件)：

B08B 7/00 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  B24C 1/00

FI (4件)：

B08B 7/00 ,  H01L 21/304 643 C ,  H01L 21/304 643 Z ,  B24C 1/00 A

Fターム (5件)：

3B116AA46 ,  3B116BA06 ,  3B116BB44 ,  3B116BB82 ,  3B116BB83