ラビング装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260309
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095222
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】液晶表示装置の表示欠陥の原因となる配向処理の異常を、速やかに検知することが可能なラビング装置を提供する。【解決手段】ラビング装置は、ガラス基板1を支持するラビングステージ2、ラビングローラ3、θ軸ステージ4、Z軸ステージ5、X軸ステージ6などから構成される。ラビングローラ3の端部付近には、ラビングローラ3の表面の通過位置の変位を非接触で検出するレーザ距離計14が設けられている。ラビングローラ3の駆動トルクは、駆動軸22からラビングローラ3の回転軸21に回転を伝達するタイミングベルト23の張力を検出することにより行われる。同様に、X軸ステージ6の駆動トルクもタイミングベルトの張力を検出することにより行われる。上記の各データを連続的にモニターし、正常時のパターンと比較することによって、ラビング工程における異常を検知する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された樹脂膜にラビングローラを用いてラビングを施すことにより配向膜を形成するラビング装置において、ラビングの最中に前記ラビングローラの表面の通過位置の変位を連続的に測定する非接触式変位測定器を備えたことを特徴とするラビング装置。

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