特許
J-GLOBAL ID:200903042830092978

液晶表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-208449
公開番号(公開出願番号):特開平8-076142
出願日: 1994年09月01日
公開日(公表日): 1996年03月22日
要約:
【要約】【目的】 駆動回路を構成するドライバーTFTの動作速度を高めるとともに、画像表示部を構成する画素スイッチング用TFTのオフ電流を低減することができ、しかもドライバーTFT及び画素スイッチング用TFTを同一基板上に低温プロセスにより、安定にかつ歩留まりよく製造することができるLCDを得ること。【構成】 画像部分2のスイッチングトランジスタを、活性領域が非晶質珪素膜からなるTFTで構成し、周辺回路部分3を構成するドライバートランジスタを、活性領域が結晶性珪素膜からなるTFTで構成し、しかも該ドライバーTFTの活性領域となる結晶性珪素膜を、非晶質珪素膜の低温結晶化を助長する触媒元素を含む構造とした。
請求項(抜粋):
対向する一対の基板間に挟持された液晶、該一方の基板上にマトリックス状に配列された複数の画素電極、及び該各画素電極毎に設けられ、該画素電極への信号の供給を制御するスイッチングトランジスタを有する画像表示部と、該一方の基板の、画像表示部の外周部分に配設され、該スイッチングトランジスタを駆動する周辺駆動回路とを備え、該画像表示部のスイッチングトランジスタは、活性領域が非晶質珪素膜からなる薄膜トランジスタであり、該周辺駆動回路を構成するドライバートランジスタは、活性領域が結晶性珪素膜からなる薄膜トランジスタであり、該結晶性珪素膜には、非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素が含まれている液晶表示装置。
IPC (3件):
G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (2件):
H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 627 G

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