特許
J-GLOBAL ID：200903042836282914
光電変換素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102423
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283757
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 真空吸着式のダイボンディング装置を使用して安定して組み立てることができる構造の光電変換素子、さらに、組み立ての際、ウエハ状態で粘着テープに貼り付け、真空吸着コレットで吸着できる構造の光電変換素子を提供することを目的とする。【構成】 変換部4を破損することなく真空吸着コレットで吸着できるように変換部4を覆うカバー10を接合した。さらに、支持体3を破損することなく下からピンで突き上げられるように基板1の裏面上にもカバー10を接合した。そして、この場合、カバーとの間にできる空間の圧力を十分低くすることで熱エネルギーの損失の低減を計った。
請求項（抜粋）：
中央部に空洞部を設けた基板上に薄膜状の支持体を設け、該支持体表面上に薄膜からなる熱エネルギーを電気エネルギーに変換する変換部を設け、該変換部上に絶縁膜を介して吸収体を設けた光電変換素子において、上記支持体表面上に上記変換部を覆う光透過性材料からなる中央部に上記変換部と接触しないように凹部を設けたカバーを接合したことを特徴とする光電変換素子。
IPC (3件)：
H01L 37/02
, G01J 1/02
, G01J 5/02
