特許

J-GLOBAL ID：200903042848517550

測定顕微鏡装置

発明者： 原口 直士
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-035530
公開番号（公開出願番号）：特開2003-233011
出願日： 2002年02月13日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】 試料面上の任意の領域内の平面度を容易に測定する。【解決手段】 試料表面22に測定光を照射させ試料表面22からの反射光を集光させる拡大光学系25による反射光の集光位置の前側および後側に光検出器39、37、集光位置に光検出器34をそれぞれ配置し、光検出器39、37の検出出力により拡大光学系25の焦点位置から試料表面22までの相対的な変位を示す焦点検出信号を求めるとともに、光検出器34の検出出力が予め設定された閾値以上の期間内での焦点検出信号の最大値および最小値を保持回路40に保持させ、この保持回路40に保持された最大値および最小値の焦点検出信号をCPU47により拡大光学系25の焦点位置から試料表面22までの変位量に変換するとともに、これら変位量から平面度を求める。

請求項（抜粋）：

試料表面に測定光を照射させると共に前記試料表面からの反射光を集光させる拡大光学系と、前記測定光を前記試料表面上で相対的に走査させる駆動手段と、前記拡大光学系により集光される反射光の集光位置に対し前側および後側にそれぞれ配置された第1および第2の光検出手段と、前記拡大光学系により集光される反射光の集光位置に配置された第3の光検出手段と、前記第1および第2の光検出手段の検出出力により前記拡大光学系の焦点位置から前記試料表面までの相対的な変位を示す焦点検出信号を求める焦点検出信号演算手段と、前記第3の光検出手段の検出出力が予め設定された閾値以上の前記焦点検出信号の最大値および最小値を保持する焦点検出信号保持手段と、この焦点検出信号保持手段に保持された最大値および最小値の焦点検出信号を前記拡大光学系の焦点面から前記試料表面までの変位量に変換するとともに、これら変位量から平面度を求める処理手段とを具備したことを特徴とする測定顕微鏡。

IPC (8件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/30 101 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/26 ,  G03B 13/36

FI (9件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/02 Z ,  G01B 11/30 101 A ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/26 ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 N ,  G03B 3/00 A

Fターム (35件)：

2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA47 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL05 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP01 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ42 ,  2H011AA06 ,  2H011BA51 ,  2H051AA11 ,  2H051BA52 ,  2H051BB35 ,  2H052AD06 ,  2H052AF02