特許

J-GLOBAL ID：200903042859361552

透明導電薄膜付きフィルムおよびその製造方法

発明者： 坪井 誠治 ,  八幡 一雄 ,  谷田部 俊明
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-045063
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】 高分子フィルム上に透明導電薄膜を形成するに当たり、膜応力が低く透明導電薄膜付きフィルムとしたときのカールが小さくなるような透明導電薄膜付きフィルム、及び透明導電薄膜付きフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 高分子フィルム上に透明導電薄膜を形成するに当たり、主たる金属元素含有量が同一である透明導電薄膜を複数回積層して所望の膜厚を得ることによってカールが小さい透明導電薄膜付きフィルムを得る。

請求項（抜粋）：

高分子フィルム上に所望の膜厚の透明導電薄膜を形成するに当たり、主たる金属元素含有量が同一である透明導電薄膜を複数回に分けて積層することを特徴とする透明導電薄膜付きフィルムの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/08 ,  C23C 28/04 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

FI (4件)：

C23C 14/08 D ,  C23C 28/04 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B

Fターム (26件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA43 ,  4K029BA45 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC09 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  4K029EA05 ,  4K029JA10 ,  4K029KA01 ,  4K044AA16 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB03 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10 ,  5G323BA01 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05