並列処理でのレチクル検査のための方法および装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-616589
公開番号（公開出願番号）：特表2002-544602
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】サンプルの少なくとも1領域の複数の画像断片を分析するための装置が開示されている。この装置は、画像断片のうち少なくとも1つを受け取り、分析するよう構成された複数のプロセッサを備え、プロセッサは、並列で動作するよう構成されている。また、この装置は、画像データを受け取り、画像データから第1の画像を受け取るための少なくとも1つの第1のプロセッサを選択し、画像データから第2の画像を受け取るための少なくとも1つの第2のプロセッサを選択し、選択されたプロセッサに第1および第2の画像断片を出力するよう構成されたデータ分配システムを備える。

請求項（抜粋）：

サンプルの少なくとも1つの領域に関する複数の画像部分を分析するための装置であって、前記画像部分のうち少なくとも1つを受け取って分析するとともに、並列で動作するよう構成された複数のプロセッサと、画像データを受け取るとともに、前記画像データの第1の画像部分を受け取る少なくとも1つの第1のプロセッサを選択し、前記画像データの第2の画像部分を受け取る少なくとも1つの第2のプロセッサを選択し、前記第1および第2の画像部分を選択されたプロセッサに出力するように構成されたデータ分配システムと、を備える、分析装置。

IPC (4件)：

G06T 1/00 305 , G01N 21/956 , G03F 1/08 , G06T 1/20

FI (4件)：

G06T 1/00 305 A , G01N 21/956 A , G03F 1/08 S , G06T 1/20 B

Fターム (23件)：

2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051AC04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA19 , 2G051EB01 , 2H095BD02 , 5B057AA03 , 5B057CA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB20 , 5B057CC01 , 5B057CH04 , 5B057CH09 , 5B057CH20 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DC31

引用特許：

審査官引用 (6件)

レチクル検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-093876 出願人：日本電気株式会社
画像分割並列処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-200819 出願人：松下電器産業株式会社
画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-109485 出願人：株式会社ニコン

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