特許

J-GLOBAL ID：200903042863206197

アルカリネガ現像型感光性樹脂組成物

発明者： 小松 博
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-102687
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295436
出願日： 2002年04月04日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 良好な基盤接着性を有するアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)分子鎖に酸官能基および硫黄原子を含む官能基を有するアルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体(b)付加重合性化合物、(c)感光剤からなることを特徴とするアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)分子鎖に酸官能基および硫黄原子を含む官能基を有するアルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体(b)付加重合性化合物、(c)感光剤からなることを特徴とするアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F290/06 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/075 511

FI (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (30件)：

2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J027AD03 ,  4J027AD06 ,  4J027BA05 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA14 ,  4J027BA20 ,  4J027BA24 ,  4J027BA27 ,  4J027CB10 ,  4J027CC03 ,  4J027CD10