流量検出装置及び流量検出方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-320352
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146640
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】流体の流量の測定精度を向上させることができるとともに、応答速度の低下を抑制する。【解決手段】圧電バイモルフ素子7、チャージアンプ15、ロウパスフィルタ16及びシュミットトリガ17は、流路内を流れる流体中に渦発生体によって発生させた渦流を検出して、流体の流速に応じたパルス数を有する流量パルス信号SPLを計測ユニット18に出力し、計測ユニット18は、流量パルス信号SPLを構成するパルスの周期を検出し、流量算出手段は、パルスの周期に基づいて流体の流量を算出するので、測定時間を短縮することができ、ひいては、応答時間を短縮することができる。さらに低流量の場合であっても高精度で流量測定を行うことができる。

請求項（抜粋）：

流路内を流れる流体の流量を検出する流量検出装置であって、前記流路中における前記流体の流勢変動を基に、前記流体の流速に応じたパルス数を有する流量パルス信号を出力する流量パルス生成手段と、前記流量パルス信号を構成するパルスの周期を検出するパルス周期検出手段と、前記パルスの周期に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段と、を備えたことを特徴とする流量検出装置。

FI (2件)：

G01F 1/32 M , G01F 1/32 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-054125
特開昭59-088620
特開昭62-054125

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