特許
J-GLOBAL ID：200903042869591947
液調合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179806
公開番号（公開出願番号）：特開平7-075727
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 液調合装置において大型化を伴うことなく調合比の精度を高める。【構成】 調合槽2にオーバーフロー方式の秤量手段18を設ける。
請求項（抜粋）：
複数種の液を調合槽に供給して該調合槽にて調合するようにした液調合装置において、上記調合槽がオーバーフロー方式の秤量手段を備えたことを特徴とする液調合装置
IPC (4件)：
B01F 15/04
, G01F 13/00 331
, H01L 21/304 341
, H01L 21/306
