圧電振動子及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335368
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142976
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】小型で等価抵抗値の低い圧電振動子の提供。【解決手段】枠と一体に形成された水晶振動片2の下面に金属膜1を配置し、枠の上下面をガラス蓋3とガラス容器6で挟み陽極接合し、金属膜1をレーザービーム7で照射し、ゲッタリングを行う。

請求項（抜粋）：

圧電振動片を内部に有する気密容器の内壁に前記気密容器の内部のガスをゲッタリングするための金属膜を有する圧電振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/10 , H03H 3/02 , H03H 3/04

FI (3件)：

H03H 9/10 , H03H 3/02 B , H03H 3/04 B

Fターム (9件)：

5J108CC04 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108GG03 , 5J108GG17 , 5J108GG20 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK05

引用特許：

審査官引用 (9件)

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