特許

J-GLOBAL ID：200903042885266436

レーザ励起型X線源

発明者： 岩本 隆
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218182
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047000
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 プラズマからの飛散微粒子の付着を阻止することができ、ターゲットを容易に交換できて、安定したX線出力を得ることができるレーザ励起型X線源を提供する。【解決手段】 真空室がチャンバ8とカートリッジ装着室16の2室から構成され、その2室は二次シャッタ10で仕切られ連結している。外部からのレーザ光1はレーザ集光レンズ2によって絞られ、レーザ光入射ポート3を通って、テープターゲット12上に数十μm径のビームになって照射され、その上にプラズマ13を発生しX線4を発生する。その時プラズマ13から飛散微粒子が発散するがプラズマ飛散防止膜テープ11により阻止される。X線4はX線射出ポート5から外部に取り出される。カートリッジ15は一次シャッタ9を開閉することにより取出しができ、また、プラズマ飛散防止膜テープ11はレーザ光透過膜とX線透過膜が交互につながれている。

請求項（抜粋）：

真空中でターゲットにレーザビームを集光照射して生成されるレーザプラズマによりX線を発生させるレーザ励起型X線源において、ターゲットとプラズマ飛散物を遮断する膜を、同一のカートリッジに収めたことを特徴とするレーザ励起型X線源。

IPC (4件)：

G21K 5/02 ,  H01S 4/00 ,  H05G 2/00 ,  H05H 1/24

FI (4件)：

G21K 5/02 X ,  H01S 4/00 ,  H05H 1/24 ,  H05G 1/00 K

Fターム (6件)：

4C092AA06 ,  4C092AA17 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  5F072YY06 ,  5F072YY11