圧電共振子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287668
公開番号（公開出願番号）：特開平11-112260
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】表面実装可能な積層構造の圧電共振子を歩留りよく製造することが容易となる、圧電共振子の製造方法を提供する。【解決手段】複数の圧電体層と複数の内部電極とが積層された積層体42の一面には、絶縁膜44が市松模様状に形成される。この場合、絶縁膜44は、内部電極36に対して垂直方向に連続する重なり部分45が生じるように形成される。絶縁膜44が形成された積層体42の面には、外部電極48が形成される。そして、積層体42に溝15が形成されるとともに、積層体42が個々の圧電共振子に切断される。

請求項（抜粋）：

複数の圧電体層と複数の内部電極とが積層された積層体を準備する工程、前記内部電極の端部を積層体の一面に露出させ、この内部電極の露出した面に市松模様状に絶縁膜を形成する工程、前記絶縁膜が形成された前記積層体の面に外部電極を形成する工程、および前記積層体の前記外部電極形成面に溝を形成するとともに、前記溝と平行に前記積層体を切断する工程を含み、前記絶縁膜は、前記内部電極に対して垂直方向に連続する重なり部分が生じるように形成される、圧電共振子の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/02 , H03H 9/17 , H03H 9/205 , H03H 9/58

FI (4件)：

H03H 3/02 C , H03H 9/17 A , H03H 9/205 , H03H 9/58 A

引用特許：

審査官引用 (9件)

特公平5-035607
特公昭62-061170
特開昭60-053315

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