特許
J-GLOBAL ID：200903042892935459
真空スイッチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158487
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012669
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】真空スイッチに於いて、ダイアフラムの劣化や反応生成物の付着によって、大気圧を検知する圧力に誤差が生じることを防止する。【構成】測定用ダイアフラム1の歪み量を測定するレーザー変位計2と、測定室4を強制的に大気にするバルブ6を設けることにより、測定用ダイアフラム1の歪み量に生じた誤差を検知・補正し、大気圧を検出する圧力に、誤差が生じることを防止する。
請求項（抜粋）：
圧力により形成する金属で大気圧を検知する真空スイッチに於いて、その金属の歪み量を任意の時間に検知できる機能と、真空スイッチの測定室を強制的に大気圧にする為のバルブを設けたことを特徴とする真空スイッチ。
IPC (2件)：
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